Ограничения, накладываемые на метод интерференционного определения толщины, параметрами пленки

dc.contributor.author	Щербинин, Анатолий Витальевич
dc.contributor.author	Соломатин, Константин Васильевич, канд. физ.-мат. наук, доцент
dc.date.accessioned	2023-10-02T08:35:57Z
dc.date.available	2023-10-02T08:35:57Z
dc.date.issued	2023
dc.identifier.citation	Щербинин, А. В. Ограничения, накладываемые на метод интерференционного определения толщины, параметрами пленки : магистерская диссертация по направлению подготовки: 03.04.02 - Физика / А. В. Щербинин. – Барнаул, 2023.	ru_RU
dc.identifier.uri	http://elibrary.asu.ru/handle/asu/13858
dc.language.iso	ru_RU	ru_RU
dc.publisher	Барнаул	ru_RU
dc.subject	03.04.02 - Физика. Профиль "Физика наносистем"	ru_RU
dc.title	Ограничения, накладываемые на метод интерференционного определения толщины, параметрами пленки	ru_RU