Способ получения тонкой нанокристаллической интерметаллической пленки на стеклянной подложке
Открыть
Дата: 2017-12-27
Автор
Макрушина, Анна Николаевна
Плотников, Владимир Александрович
Макаров, Сергей Викторович
Выходные сведения
Способ получения тонкой нанокристаллической интерметаллической пленки на стеклянной подложке: RU 2680072 C1: МПК C30B 23/02 (2006.01), C30B 23/06 (2006.01), C30B 29/10 (2006.01), C23C 14/14 (2006.01), C23C 14/18 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01), C23C 14/58 (2006.01), B82B 3/00 (2006.01), B82Y 30/00 (2011.01), B82Y 40/00 (2011.01) / А. Н. Макрушина, В. А. Плотников, С. В. Макаров; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2018100893; заявл. 27.12.2017; опубл. 14.02.2019, Бюл. № 5. - 14 с.
Аннотация
Изобретение относится к области физики низкоразмерных структур, а именно к формированию наноразмерной тонкопленочной структуры, и может быть использовано в различных высокотехнологичных областях промышленности и науки для создания новых материалов.