Показать сокращенную информацию
Способ получения алмазоподобных тонких пленок
| dc.contributor.author | Плотников, Владимир Александрович | |
| dc.contributor.author | Демьянов, Борис Федорович | |
| dc.contributor.author | Макаров, Сергей Викторович | |
| dc.contributor.author | Ярцев, Владимир Иванович | |
| dc.date.accessioned | 2019-05-17T04:58:22Z | |
| dc.date.available | 2019-05-17T04:58:22Z | |
| dc.date.issued | 2016-12-19 | |
| dc.identifier.citation | Способ получения алмазоподобных тонких пленок: RU 2668246 C2: МПК C30B 23/02 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01), C23C 14/18 (2006.01), C23C 14/28 (2006.01), C30B 29/04 (2006.01), C01B 32/26 (2017.01), C30B 30/00 (2006.01), B82B 3/00 (2006.01), B82Y 30/00 (2011.01), B82Y 40/00 (2011.01) / В. А. Плотников, Б. Ф. Демьянов, С. В. Макаров [и др.]; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2016150202; заявл. 19.12.2016; опубл. 27.09.2018, Бюл. № 27. - 9 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.asu.ru/handle/asu/7020 | |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к технологии производства тонких алмазных пленок и может быть использовано в различных областях промышленности и науки для получения тонкопленочных упрочняющих покрытий и активных слоев тонкопленочных наноструктур. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru_RU | ru_RU |
| dc.title | Способ получения алмазоподобных тонких пленок | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
