СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКИ ОРИЕНТИРОВАННЫХ КВАЗИМОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКИХ ТОНКИХ ПЛЕНОК
View/
Date: 2015-04-23
Citation
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКИ ОРИЕНТИРОВАННЫХ КВАЗИМОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКИХ ТОНКИХ ПЛЕНОК: RU 2597835 C1: МПК C23C 14/18 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/58 (2006.01) / В. А. Плотников, С. В. Макаров, Д. Г. Богданов [и др.]; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2015115429/02; заявл. 23.04.2015; опубл. 20.09.2016, Бюл. № 26. - 12 с.
Abstract
Изобретение относится к области физики низкоразмерных структур, а именно способу получения квазимонокристаллической интерметаллической тонкой пленки с наноразмерной структурой, и может быть использовано в различных высокотехнологичных областях промышленности и науки для создания наноструктурных материалов.