СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОЙ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ НА СТЕКЛЯННОЙ ПОДЛОЖКЕ
Открыть
Дата: 2014-03-26
Автор
Плотников, Владимир Александрович
Макаров, Сергей Викторович
Макрушина, Анна Николаевна
Выходные сведения
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОЙ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ НА СТЕКЛЯННОЙ ПОДЛОЖКЕ: RU 2566129 C1: МПК C23C 14/18 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/58 (2006.01), B82Y 30/00 (2011.01) / В. А. Плотников, С. В. Макаров, А. Н. Макрушина; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2014111841/02; заявл. 26.03.2014; опубл. 20.10.2015, Бюл. № 29. - 13 с.
Аннотация
Изобретение относится к области физики низкоразмерных структур, а именно к способу получения тонкой нанокристаллической интерметаллической пленки на стеклянной подложке, и может быть использовано в различных высокотехнологичных областях промышленности и науки для создания новых материалов.