• русский
    • English
  • English 
    • русский
    • English
  • Login
View Item 
  •   DLS AltSU
  • Объекты интеллектуальной собственности
  • Изобретения
  • View Item
  •   DLS AltSU
  • Объекты интеллектуальной собственности
  • Изобретения
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Способ получения тонких алмазных пленок

Thumbnail
View/Open
2685665.pdf
Date: 2017-11-17
Author
Плотников, Владимир Александрович
Макаров, Сергей Викторович
Макрушина, Анна Николаевна
Зырянова, Анастасия Игоревна
Шуткин, Алексей Александрович
Citation
Способ получения тонких алмазных пленок: RU 2685665 C1: МПК C23C 14/28 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01), C30B 23/06 (2006.01), C30B 28/12 (2006.01), C30B 30/00 (2006.01), C30B 29/04 (2006.01), C01B 32/26 (2017.01), B82B 3/00 (2006.01), B82Y 30/00 (2011.01), B82Y 40/00 (2011.01) / В. А. Плотников, С. В. Макаров, А. Н. Макрушина [и др.]; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2017141896; заявл. 17.11.2017; опубл. 22.04.2019, Бюл. № 12
Abstract
Изобретение относится к способу получения тонких алмазных пленок и может быть использовано в различных областях промышленности и науки для получения тонкопленочных упрочняющих покрытий и активных слоев тонкопленочных наноструктур.

URI: http://elibrary.asu.ru/handle/asu/8626
Metadata
Show full item record
Collections
  • Изобретения

Altai State University | University Libraries
Powered by free open source software DSpace
Contact Us | Send Feedback
 

 

Browse

AllCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

Login

Altai State University | University Libraries
Powered by free open source software DSpace
Contact Us | Send Feedback