Способ получения тонких алмазных пленок
View/
Date: 2017-11-17
Citation
Способ получения тонких алмазных пленок: RU 2685665 C1: МПК C23C 14/28 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01), C30B 23/06 (2006.01), C30B 28/12 (2006.01), C30B 30/00 (2006.01), C30B 29/04 (2006.01), C01B 32/26 (2017.01), B82B 3/00 (2006.01), B82Y 30/00 (2011.01), B82Y 40/00 (2011.01) / В. А. Плотников, С. В. Макаров, А. Н. Макрушина [и др.]; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2017141896; заявл. 17.11.2017; опубл. 22.04.2019, Бюл. № 12
Abstract
Изобретение относится к способу получения тонких алмазных пленок и может быть использовано в различных областях
промышленности и науки для получения тонкопленочных упрочняющих покрытий и активных слоев тонкопленочных наноструктур.