• русский
    • English
  • English 
    • русский
    • English
  • Login
View Item 
  •   DLS AltSU
  • Объекты интеллектуальной собственности
  • Изобретения
  • View Item
  •   DLS AltSU
  • Объекты интеллектуальной собственности
  • Изобретения
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Способ контроля структурного состояния алмазоподобных тонких пленок

Thumbnail
View/Open
2723893.pdf
Date: 2019-11-06
Author
Макаров, Сергей Викторович
Плотников, Владимир Александрович
Citation
Способ контроля структурного состояния алмазоподобных тонких пленок : RU 2723893 C1 : МПК H01L 21/66 (2006.01), B82Y 35/00 (2011.01) / С. В. Макаров, В. А. Плотников; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2019135735; заявл. 06.11.2019; опубл. 18.06.2020, Бюл. № 17. - 8 с.
Abstract
Изобретение относится к технологии производства тонких алмазных пленок и может быть использовано для оперативного контроля ее структурного состояния (распределения sp2 и sp3 связей).

URI: http://elibrary.asu.ru/handle/asu/10060
Metadata
Show full item record
Collections
  • Изобретения

Altai State University | University Libraries
Powered by free open source software DSpace
Contact Us | Send Feedback
 

 

Browse

AllCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

Login

Altai State University | University Libraries
Powered by free open source software DSpace
Contact Us | Send Feedback