Способ контроля структурного состояния алмазоподобных тонких пленок

dc.contributor.author	Макаров, Сергей Викторович
dc.contributor.author	Плотников, Владимир Александрович
dc.date.accessioned	2021-04-16T08:02:30Z
dc.date.available	2021-04-16T08:02:30Z
dc.date.issued	2019-11-06
dc.identifier.citation	Способ контроля структурного состояния алмазоподобных тонких пленок : RU 2723893 C1 : МПК H01L 21/66 (2006.01), B82Y 35/00 (2011.01) / С. В. Макаров, В. А. Плотников; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2019135735; заявл. 06.11.2019; опубл. 18.06.2020, Бюл. № 17. - 8 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	http://elibrary.asu.ru/handle/asu/10060
dc.description.abstract	Изобретение относится к технологии производства тонких алмазных пленок и может быть использовано для оперативного контроля ее структурного состояния (распределения sp2 и sp3 связей).	ru_RU
dc.language.iso	ru_RU	ru_RU
dc.title	Способ контроля структурного состояния алмазоподобных тонких пленок	ru_RU
dc.type	Other	ru_RU