Определение толщины тонкой пленки и профиля её поверхности интерференционным методом

dc.contributor.author	Белоусов, Алексей Сергеевич
dc.contributor.author	Соломатин, Константин Васильевич, канд. физ.-мат. наук, доцент
dc.date.accessioned	2022-09-07T06:51:21Z
dc.date.available	2022-09-07T06:51:21Z
dc.date.issued	2022
dc.identifier.citation	Белоусов, А. С. Определение толщины тонкой пленки и профиля её поверхности интерференционным методом : магистерская диссертация по направлению подготовки: 03.04.02 - Физика / А. С. Белоусов. – Барнаул, 2022	ru_RU
dc.identifier.uri	http://elibrary.asu.ru/handle/asu/12522
dc.language.iso	ru_RU	ru_RU
dc.publisher	Барнаул	ru_RU
dc.subject	03.04.02 - Физика. Профиль "Физика наносистем"	ru_RU
dc.title	Определение толщины тонкой пленки и профиля её поверхности интерференционным методом	ru_RU