СПОСОБ ХАЛЬКОГЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ n-ТИПА
View/
Date: 2005-05-03
Citation
СПОСОБ ХАЛЬКОГЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ n-ТИПА: RU 2291517 C1: МПК H01L 21/306 (2006.01) / Л. В. Фомина, С. А. Безносюк; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2005113441/28; заявл. 03.05.2005; опубл. 10.01.2007, Бюл. № 1. - 5 с.
Abstract
Изобретение относится к электрохимии полупроводников и технологии полупроводниковых приборов.