СПОСОБ ХАЛЬКОГЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ n-ТИПА

dc.contributor.author	Фомина, Лариса Валерьевна
dc.contributor.author	Безносюк, Сергей Александрович
dc.date.accessioned	2019-05-07T03:44:56Z
dc.date.available	2019-05-07T03:44:56Z
dc.date.issued	2005-05-03
dc.identifier.citation	СПОСОБ ХАЛЬКОГЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ n-ТИПА: RU 2291517 C1: МПК H01L 21/306 (2006.01) / Л. В. Фомина, С. А. Безносюк; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2005113441/28; заявл. 03.05.2005; опубл. 10.01.2007, Бюл. № 1. - 5 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	http://elibrary.asu.ru/handle/asu/6889
dc.description.abstract	Изобретение относится к электрохимии полупроводников и технологии полупроводниковых приборов.	ru_RU
dc.language.iso	ru_RU	ru_RU
dc.title	СПОСОБ ХАЛЬКОГЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ n-ТИПА	ru_RU
dc.type	Other	ru_RU