СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОФАЗНОЙ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ

Thumbnail
View/Open
Date: 2015-04-06
Author
Плотников, Владимир Александрович
Макаров, Сергей Викторович
Макрушина, Анна Николаевна
Citation
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОФАЗНОЙ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ: RU 2598723 C1: МПК C23C 14/18 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/58 (2006.01) / В. А. Плотников, С. В. Макаров, А. Н. Макрушина; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2015112415/02; заявл. 06.04.2015; опубл. 27.09.2016, Бюл. № 27. - 10 с.
Abstract
Изобретение относится к области физики наноразмерных структур, а именно способу получения тонких металлических пленок, в частности, системы Ni-Al.

URI: http://elibrary.asu.ru/handle/asu/7121
Metadata
Show full item record
Collections