СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОФАЗНОЙ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ
![Thumbnail](/xmlui/bitstream/handle/asu/7121/2598723.PDF.jpg?sequence=3&isAllowed=y)
Открыть
Дата: 2015-04-06
Автор
Плотников, Владимир Александрович
Макаров, Сергей Викторович
Макрушина, Анна Николаевна
Выходные сведения
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОФАЗНОЙ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ: RU 2598723 C1: МПК C23C 14/18 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/58 (2006.01) / В. А. Плотников, С. В. Макаров, А. Н. Макрушина; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2015112415/02; заявл. 06.04.2015; опубл. 27.09.2016, Бюл. № 27. - 10 с.
Аннотация
Изобретение относится к области физики наноразмерных структур, а именно способу получения тонких металлических пленок, в частности, системы Ni-Al.