СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОФАЗНОЙ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ

dc.contributor.author	Плотников, Владимир Александрович
dc.contributor.author	Макаров, Сергей Викторович
dc.contributor.author	Макрушина, Анна Николаевна
dc.date.accessioned	2019-05-22T07:36:40Z
dc.date.available	2019-05-22T07:36:40Z
dc.date.issued	2015-04-06
dc.identifier.citation	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОФАЗНОЙ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ: RU 2598723 C1: МПК C23C 14/18 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/58 (2006.01) / В. А. Плотников, С. В. Макаров, А. Н. Макрушина; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2015112415/02; заявл. 06.04.2015; опубл. 27.09.2016, Бюл. № 27. - 10 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	http://elibrary.asu.ru/handle/asu/7121
dc.description.abstract	Изобретение относится к области физики наноразмерных структур, а именно способу получения тонких металлических пленок, в частности, системы Ni-Al.	ru_RU
dc.language.iso	ru_RU	ru_RU
dc.title	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОФАЗНОЙ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ	ru_RU
dc.type	Other	ru_RU