Способ получения алмазоподобных тонких пленок
View/ Open
Date: 2016-12-19
Author
Плотников, Владимир Александрович
Демьянов, Борис Федорович
Макаров, Сергей Викторович
Ярцев, Владимир Иванович
Citation
Способ получения алмазоподобных тонких пленок: RU 2668246 C2: МПК C30B 23/02 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01), C23C 14/18 (2006.01), C23C 14/28 (2006.01), C30B 29/04 (2006.01), C01B 32/26 (2017.01), C30B 30/00 (2006.01), B82B 3/00 (2006.01), B82Y 30/00 (2011.01), B82Y 40/00 (2011.01) / В. А. Плотников, Б. Ф. Демьянов, С. В. Макаров [и др.]; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2016150202; заявл. 19.12.2016; опубл. 27.09.2018, Бюл. № 27. - 9 с.
Abstract
Изобретение относится к технологии производства тонких алмазных пленок и может быть использовано в различных областях промышленности и науки для получения тонкопленочных упрочняющих покрытий и активных слоев тонкопленочных наноструктур.